法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F16M11/08 授权公告日:20160629 终止日期:20180203 申请日:20160203
专利权的终止
2016-06-29
授权
授权
机译: 用于倾斜表面轮廓测量的莫尔条纹系统-通过第一个非对称光栅投射光束以在物体表面上形成光图案,在具有相同光栅常数的阴影光栅上成像并用相机检测强度以评估分布
机译: 具有投射装置和投射系统的照明装置,该投射装置和投射系统用于投射具有多个发射器的半导体激光单元的工作面
机译: 在用于微光刻的投射曝光系统中用于定位和/或调节镜位置传感器的对准装置,具有评估单元,该评估单元将由照相机捕获的镜位置传感器的图像与参考图像进行比较