用于外延反应器的反应室的位置可调部件、反应室和外延反应器

摘要

本申请涉及一种位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)、用于外延反应器的反应室和外延反应器，该部件包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在所述两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；其还包括用于调整所述板(30)的垂直位置的装置(34、35、36)，外延反应器的反应室和外延反应器也都包括该部件。优点是：本实用新型创造使反应室的使用者轻易地使部件的性能适合于在腔室内部执行的工艺。