公开/公告号CN113195780A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 洛佩诗公司;
申请/专利号CN201980083556.2
申请日2019-10-17
分类号C23C14/54(20060101);C30B23/06(20060101);C30B25/10(20060101);C23C16/46(20060101);C30B35/00(20060101);
代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞;杨明钊
地址 意大利米兰巴兰扎泰
入库时间 2023-06-19 12:02:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-27
授权
发明专利权授予
机译: 用于具有非均匀纵向截面和反应器的半导体材料外延反应器的反应室
机译: 纵向非均匀截面半导体材料与反应器的反应室及反应器
机译: 在具有包含催化剂的反应室的反应器中处理材料的方法允许根据工艺参数改变反应室的有效横截面,反应器中的压力用于提供进入催化剂的通道