基于滑膜阻尼的微惯性传感器

摘要

本实用新型涉及一种基于滑膜阻尼的微惯性传感器。现有的传感器的噪声大、稳定性差，量程和带宽小。本实用新型包括第一基板及其上表面的检测用交叉梳齿状固定对电极、固定于第一基板上的敏感器锚点、固定质量块锚点、第二基板的悬于第一基板上方的条形敏感器质量块、将敏感器锚点和条形敏感器质量块相连的U形敏感器支撑梁、外侧连接梳形可动电极的双栅形振子对、将条形敏感器质量块和双栅形振子对相连的U形敏感器连接梁、固定质量块上的梳形固定电极、敏感器外部引出电极、电绝缘层、驱动导线和驱动导线引出电极。本实用新型的微惯性传感器结构新颖，分辨率和灵敏度高。