大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响

董林玺; 焦继伟; 陈永; 王跃林

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大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响

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设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715.

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来源
《工程设计学报》 |2003年第5期|271-274|共4页
作者
董林玺; 焦继伟; 陈永; 王跃林;
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作者单位

浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
滑膜阻尼; 电容检测; 栅形结构;

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