一种可提高硒化均匀性和重复性的CIGS薄膜电池硒化装置

摘要

本实用新型提供了一种可提高硒化均匀性和重复性的CIGS薄膜电池硒化装置，从下往上依次包括硒化盒、基片、硒源板和盒盖板，所述基片和硒源板设在硒化盒内，所述硒源板上放置有硒源。本实用新型使硒源与基片同处于一个相对密封的硒化盒内，硒化过程中不需要额外控制硒蒸气通断，也不需要在硒化过程中去调整硒蒸气的浓度等；硒化盒内空间相对狭小使得硒蒸气浓度较均匀，大大提高了硒化的均匀性；忽略了硒蒸气的流通时间，浓度梯度，避免了管道，流量密度等影响提高了硒化的重复性。