上盖封装式溅射薄膜压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种上盖封装式溅射薄膜压力传感器，其中，敏感元件包括一个具有弹性的杯状本体，杯状本体的闭口端外端面上设有溅射而成的合金薄膜，合金薄膜上设有光刻而成的圆膜式应变片，圆膜式应变片与信号调理电路板连接，杯状本体的开口端与引压腔体的内端连接，封装外壳安装于引压腔体与上盖之间，插座安装于上盖上，信号转接板与插座的内端通过聚四氟乙烯导线连接，信号转接板通过转接板支撑垫圈安装于引压腔体上，敏感元件、转接板支撑垫圈和信号转接板均置于封装外壳内。本实用新型通过采用光刻的圆膜式应变片作为应变元件并与敏感元件的杯状本体形成固化结构，提高了压力传感器的稳定性和可靠性。