一种扫描/透射电子显微镜用热驱动单轴拉伸/压缩变形装置

摘要

一种扫描/透射电子显微镜用热驱动单轴拉伸/压缩变形装置属于材料力学性能-显微结构一体化原位表征仪器设备领域，实现微纳尺度材料变形和显微结构、物理性能演化的一体化研究。利用扫描电镜加热台或透射电镜加热样品杆，对通过腐蚀加工的、金属V型梁进行加热，使V型梁发生热膨胀。V型梁由多根结构对称的细梁组成，单根梁发生热膨胀而在应力诱导下发生弯曲变形，由于细梁的对称结构，V型梁可以实现对样品的单轴变形。通过改变V型梁的几何结构实现对样品的单轴拉伸和单轴压缩。通过控制V型梁的夹角、三维几何尺寸、加热温度和速率，调节V型梁的输出力、位移和样品变形速率。通过控制V型梁夹角的正负调节应力的输出为拉伸力或压缩力。