一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法，其特征在于所述对中装置包括光电探测器阵列、精密三维位移平台、x向调整电路和y向调整电路。光电探测器阵列上有用于对中的两个四分之一圆环硅光电探测器和两个二分之一圆环硅光电探测器对称位于光电探测器阵列接收光强变化最快位置的附近，两个二分之一圆环硅光电探测器输出信号给y向调整电路，两个四分之一圆环硅光电探测器输出信号给x向调整电路；光电探测器阵列固定在精密三维位移平台上；通过三维位移平台在x轴方向和y轴方向上精密调节光电探测器阵列的位置，使x向调整电路的输出和y向调整电路的输出归零来完成光电探测器阵列的对中。本发明结构简单,易于安装和应用。