用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器

摘要

本实用新型公开一种用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器，包括：（a）加热器至少包括三个环形均匀分布的独立加热单元，各独立加热单元的共用负极为钨环；（b）每个独立加热单元包括一个钨电极爪、弧形固定钨板、两片钨加热板和电极遮挡片，其中，钨电极爪的一端与弧形固定钨板的中部铆接，另一端设有电极遮挡片，两片钨加热板的一端与弧形固定钨板的两端弧面铆接，另一端与所述的钨环铆接；（c）各独立加热单元的钨电极爪自端部起的等距设有电极遮挡片；（d）正极与钨电极爪对接，负极与钨环对接；本实用新型有效提高温度场的均匀与稳定性，高效节能，可以大幅度提高晶体成品率。