双加热器移动热屏式直拉单晶炉的数值模拟

摘要

本文讲述了新型直拉单晶硅炉，与传统直拉单晶炉相比，新型直拉炉内的熔体始终处于热区，温度较高，这就会导致晶体生长速度变慢，略低于传统单晶炉，总结出了新型单晶炉内的晶体温度梯度和熔体温度梯度增加，新型直拉炉的热应力略高，但不大于临界热应力，与传统单晶炉相比，新型单晶炉的氧含量相对较低等方面的结论。