法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-18
授权
授权
2015-04-01
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/06 变更前: 变更后: 登记生效日:20150310 申请日:20130607
专利申请权、专利权的转移
2013-12-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20130607
实质审查的生效
2013-10-02
公开
公开
机译: 利用CIGS / CIS纳米粒子的硒化制造稠密CIGSe / CISe薄膜的方法
机译: CuSe2靶材非硒化溅射制备CIGS薄膜的方法
机译: CIGS薄膜质量评估方法,使用CIGS薄膜质量评估方法的CIGS薄膜制造方法以及使用该制造方法获得的CIGS薄膜的太阳能电池