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一种生长晶体材料时的温度梯度控制装置及其方法

摘要

一种生长晶体材料时的温度梯度控制装置及其方法,涉及一种晶体材料的生长设备,在炉室(1)内设有坩埚(5),坩埚的下部处于套筒(4)内,在套筒外部设有发热体(3);冷却介质降温机构设置在套筒内的下部;由冷却介质降温机构形成坩埚上部温度高下部温度底的温度梯度控制;本发明通过将套筒套在坩埚的外部,发热体首先加热筒套,筒套再对坩埚加热,由于本发明在坩埚底部与套筒底部的立轴高度较高,并且立轴在套筒的底部高度也较高,在通入惰性气体后,所述立轴的散热面积也明显加大,使得坩埚底部与套筒内的底部之间形成低温区,获取了较佳的温度梯度;由于筒套的作用,还可确保坩埚极少出现非均匀晶核。

著录项

  • 公开/公告号CN103160934B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 洛阳金诺机械工程有限公司;

    申请/专利号CN201210020279.0

  • 发明设计人 刘朝轩;

    申请日2012-01-10

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 471009 河南省洛阳市国家高新技术开发区金鑫路2号

  • 入库时间 2022-08-23 09:39:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-09

    专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C30B 35/00 授权公告日:20160518 登记号:2017410000032 出质人:洛阳金诺机械工程有限公司 质权人:鑫融基投资担保有限公司 解除日:20190614 申请日:20120110

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2018-02-02

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C30B35/00 登记号:2017410000032 登记生效日:20180110 出质人:洛阳金诺机械工程有限公司 质权人:鑫融基投资担保有限公司 发明名称:一种生长晶体材料时的温度梯度控制装置及其方法 授权公告日:20160518 申请日:20120110

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2018-02-02

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C30B 35/00 登记号:2017410000032 登记生效日:20180110 出质人:洛阳金诺机械工程有限公司 质权人:鑫融基投资担保有限公司 发明名称:一种生长晶体材料时的温度梯度控制装置及其方法 授权公告日:20160518 申请日:20120110

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2013-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B35/00 申请日:20120110

    实质审查的生效

  • 2013-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 35/00 申请日:20120110

    实质审查的生效

  • 2013-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 35/00 申请日:20120110

    实质审查的生效

  • 2013-06-19

    公开

    公开

  • 2013-06-19

    公开

    公开

  • 2013-06-19

    公开

    公开

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