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公开/公告号CN203823862U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
申请/专利号CN201420237947.X
发明设计人 李燕;王琳;阮珏旻;王巍;吴开春;张利强;
申请日2014-05-09
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
入库时间 2022-08-22 00:15:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-09-10
授权
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