检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种检测MEMS加速度传感器芯片的特性的系统。包括：信号采集装置和特性检测与控制装置；信号采集装置包括振动台、振动传感器、被检测的MEMS加速度传感器芯片和检测电路；特性检测与控制装置根据被检测的MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性，并与理想状态下的开环频率特性进行比较，确定其结构是否存在问题。根据所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到开环传递函数的极点和零点值。根据本实用新型实施例，可以确定被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定其是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。