一种临界火花控制的低温等离子发生器电源

摘要

本实用新型公开了一种临界火花控制的低温等离子发生器电源，该电源由主电路和测量控制电路组成；所述主电路由依次串联的单相桥式全控整流滤波电路、DC/AC高频逆变电路、LC滤波电路及高频升压电路组成；所述测量控制电路由隔离驱动电路和SPWM电压-电压复合控制器组成。该电源由测量控制电路闭环控制离子发生器主电路输出电场，根据临界火花状态电学物理特征，动态调节等离子发生器正负极之间的电压幅值和脉宽等，使之达到临界火花状态，使等离子浓度达到最大并能持续保持。该电源将SPWM技术用于等离子体高压电源控制中，具有原理简单、控制和调节性能好，具有消除谐波、调节和稳定输出电压、输出电压幅值、频率动态连续可调等诸多特点。