法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S3/10 授权公告日:20140604 终止日期:20141105 申请日:20131105
专利权的终止
2014-06-04
授权
授权
机译: 产生激光束高次谐波的装置,使用相同光束的曝光装置,产生激光束高次谐波的方法,使用相同光束的曝光方法以及使用相同光束的器件制造方法
机译: 产生高次谐波X射线和使用高次谐波X射线的点衍射X射线干涉仪的装置和方法
机译: 高次谐波X射线发生装置及其产生方法,以及使用高次谐波X射线的点衍射干涉仪