公开/公告号CN203503965U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 核工业理化工程研究院;
申请/专利号CN201320577279.0
申请日2013-09-18
分类号
代理机构天津市宗欣专利商标代理有限公司;
代理人胡恩河
地址 300180 天津市河东区津塘路168号
入库时间 2022-08-22 00:04:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-26
授权
授权
机译: 束引导系统,用于聚焦地引导例如X射线的X射线束。二氧化碳高功率激光照射到锡滴上进行EUV光刻,具有反射镜,该反射镜可部分补偿光束引起的反射镜导光特性的变化
机译: 使用相同的亮度畸变补偿装置和具有相同的显示面板检查系统的亮度畸变补偿装置
机译: 畸变补偿装置,光接收机,畸变补偿装置的程序和光接收机的程序。