利用波长调谐移相干涉仪测量平行平板光学均匀性的方法

摘要

一种利用波长调谐移相干涉仪测量平行平板光学均匀性的方法，该方法利用干涉测量原理，样品斜放置于光路中，通过四步波面测量，计算得到样品的光学均匀性。特别适合于待测元件超过干涉仪测试口径的大口径平行平板元件测量。测试结果中去除了样品前后表面波面误差和干涉仪两个标准镜波面误差，为绝对测量结果。