磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射铝镜生产线前、后粗抽真空室，包括真空室、上盖板、传动轴、外真空锁、内真空锁，其中，兼作玻璃板的进出通道的外真空锁设置在真空室左端的侧壁上，兼作真空室进出口的内真空锁设置在真空室右端侧壁上；上盖板呈凹形，其除外周密封用方框外，中间部份整体下凹，下凹部分的下表面与真空室左侧壁顶端的上密封法兰框底面平齐，上盖板与真空室左右侧壁之间通过真空室上密封法兰框连接；真空室右端部分的高度大于其左端部分的高度，在其右端的顶部设置有真空锁维修盖，真空室整体呈台阶式矩形结构，其底部每相邻两个传动轴之间设置有若干两端密闭的方钢。本实用新型最大限度地减少了真空室内非工艺必需的冗余空间。