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膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥空気を導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(3)－潤滑特性向上メカニズムの検討

机译：通过将干燥空气引入真空室后，在形成双硫化物特性（3）的改进机制后，通过将干燥空气引入真空室的润滑特性进行润滑特性

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本報では，アルゴン分圧3Paで膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥空気を導入したのち大気中に取り出すという膜作製法を実施し，その効果について乾燥空気を導入しないで大気中に取り出した場合と比較した結果について述べる．

机译：在本报告中，在膜形成后将成膜引入真空室之后，在空气中进行薄膜制造方法并将其移入大气中，并将干燥空气引入这种效果并移除到大气中的效果描述了比较。

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来源
《トライボロジー会議》|2008年||共2页
会议地点
作者
池田満昭; 小熊清典; 兼田植宏; 松田健次;
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中图分类 TH117.1-53;
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