一种用于光学特性参数测试的LED外延结构

摘要

本实用新型公开一种用于光学特性参数测试的LED外延结构，其包括在衬底上依次形成的缓冲层、第一半导体层、量子阱层、第二半导体层，在第二半导体层上设有第一透明导电层，LED外延结构中设有封闭的隔离槽，隔离槽环绕部分LED外延结构，形成测试岛，测试岛作为测试区域；其中，隔离槽至少贯穿第一透明导电层、第二半导体层和量子阱层，并且隔离槽位于缓冲层之上。另外，在第一透明导电层上还设有第二透明导电层，第二透明导电层向测试岛周围延伸而形成延伸部，该延伸部用于放置接触电极。本实用新型的用于光学特性参数测试的LED外延结构，将测试区域面积固定，并且将接触电极与测试岛的接触面积固定，在测试过程中提高了测试的精度以及准确度。