法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04C29/02 授权公告日:20130612 终止日期:20140106 申请日:20130106
专利权的终止
2013-06-12
授权
授权
机译: 用于极端UV(EUV)应用的光学系统EUV光刻具有微通道系统,该系统包括微通道段,该微通道段具有通过冷却介质的微通道,并与微镜相关联
机译: 螺旋微通道颗粒分离器,直型微通道颗粒分离器以及连续颗粒分离器和检测器系统
机译: 生产微通道芯片的方法,微通道芯片,使用该微通道芯片分离生物分子的方法以及具有该微通道芯片的电泳设备