晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，特别是指一种能精密微调晶圆镀膜平台的水平装置，使晶圆能均匀受热，以降低产品的不合格率，同时能纪录微调数据。其主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，而能利用调整装置的极精细微调，以控制调整台两端的水平距离，使固定板能同步随之调整，促使固定板上的加热平台能调整在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆能均匀受热，以提升晶圆镀膜的质量，且于水平调整后，能凭借数字千分表以纪录微调数据，供下次调整的参考，相当进步且实用。