基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪

摘要

本发明公开了基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，包括光源及光源调整单元、分光准直单元、信号提取和时域相移单元、成像单元、空域相移单元、图像采集单元，光源及光源调整单元包括光源、滤光片、偏振调整器和光束扩展透镜与空间滤波组件，分光准直单元包括第一非偏振分光棱镜和准直透镜，成像单元为成像物镜，空域相移单元包括1/2波片、第二非偏振分光棱镜、x向偏振片和z向偏振片，构成双通道，图像采集单元包括x向CCD和z向CCD，第一非偏振分光棱镜处于x方向与z方向相交的交点处，z向CCD和x向CCD在两个通道上，用于采集待测量物体的具有相移量的干涉条纹图。该干涉仪具有正交偏振空域相移和时域相移功能。