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基于偏振光的激光干涉仪系统设计

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摘要

近年来,随着科技的不断发展,在精密机械、集成电路生产等许多精密加工工业领域中,精密测量的要求越来越高.阐述了基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪系统的原理与方法.

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来源
《现代工业经济和信息化》 |2016年第11期|80-81|共2页
作者
王丽玮; 陈长春;
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作者单位

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230092;

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230092;

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正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
偏振光; 激光干涉仪; 系统设计;

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