一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置

摘要

本实用新型公开了一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置，包括坩埚底板、带有导气孔的坩埚盖板、绕所述坩埚底板边缘立置的坩埚侧板，所述坩埚侧板的顶部设有支撑所述坩埚盖板的支撑柱。本实用新型提供的用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置，在有效保护石英坩埚的同时，大大降低坩埚保护装置的加工制造成本，同时减少了晶体硅产品中碳元素的含量，提高了晶体硅的质量。