一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台

摘要

一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台，它涉及一种微动微扫平台，具体涉及一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台。本实用新型为了解决传统的扫描平台设计运动单一，运动速度慢，产生位置误差传递的问题。本实用新型的浮动块设置在公共底座上表面的中部，第一压电制动器下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第二压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第三压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第四压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷。本实用新型用于微纳米级微动平台技术领域。