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基于压电陶瓷的二维微动工作台有限元分析

         

摘要

本文对二维微动工作台的一些关键技术进行了理论分析,并借助于ANSYS软件建立了二维微动工作台的有限元模型,采用有限元分析方法,对其静、动态力学性能进行了数值分析,得出了微动工作台的静态力学性能及固有频率.

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