一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台

摘要

本发明公开了一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台，包括对称差动放大机构、长臂铰链、刚性连接杆、微动平台、固定平台等部分。微动平台的一端通过两条长臂铰链和固定平台连接，另一端通过两条包含两个对称差动放大机构的支链和固定平台连接，两条支链按固定平台的对角线对称配置；在所述支链中，固定平台与对称差动放大机构、对称差动放大机构与对称差动放大机构、对称差动放大机构与微动平台之间均通过刚性连接杆进行连接。本发明在保证高精度、大行程运动的同时还能实现运动解耦，消除了输入耦合对平台运动精度和输入控制难度的影响。