微波反射无接触硅晶体载流子复合寿命测试仪

摘要

本实用新型公开了一种微波反射无接触硅晶体载流子复合寿命测试仪，包括箱体、立臂、探头、样品台。探头内包括微波源、环形器、检波器、宽带放大器、脉冲光源驱动器、脉冲激光器和微带天线。宽带放大器位于箱体内，待测硅晶体放置在样品台上，微带天线在硅晶体的正上方，微波源与环行器、微带天线、检波器之间通过同轴线连接，检波器、宽带放大器、数字示波器通过高频电缆依次连接。所述脉冲激光器发射的激光倾斜照射在样品上，微带天线发射并接收微波信号，然后接收的微波信号被检波器检出并输入到宽带放大器输入端，数字示波器动态测量出待测样品的载流子复合寿命值。本实用新型具有体积小、重量轻、功耗小、成本低的优点。