一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器，为了解决现有的应变式压力传感器不适合测量绝压压力的问题，所述应变式压力传感器的绝压封装结构包括基座、弹性体膜片、下支架和密封接头，各部件通过激光或电子束焊接方式相互连接，在弹性体膜片背面形成一个真空空腔，通过密封接头上的电气引针完成电气输出。所述应变式压力传感器包括上述绝压封装结构。本实用新型结构简单，操作方便，测量精度高，能对以真空为基准的压力的进行测量，可广泛应用于各种气体、液体或蒸汽的绝压压力测量。