一种小量程应变式压力传感器结构设计

摘要

提出了一种新型的梁膜结构,其体积较小、应力集中效应明显,特别适合作小量程应变式压力传感器.通过有限元分析发现,当膜片厚度与梁厚度为某一比值时,膜片中心应力值最大,而位移量较小,即传感器灵敏度较大,而非线性较小.设计的传感器样品的灵敏度达0.5 mV/V,总精度优于0.1%F.S.