一种热隔离封装结构的薄膜应变式压力传感器

摘要

本发明涉及薄膜压力传感器技术领域，特别涉及一种热隔离封装结构的薄膜应变式压力传感器。本发明的热隔离封装结构避免了测量介质与敏感元件的直接接触，通过感压膜片与密封在热隔离结构里的油脂进行传压，消除了热扰动对传感器输出的影响，提升了瞬态温度变化时的测量精度；本发明的传感器靠性高，本发明的传感器长期稳定性好，本发明的传感器测量介质温区宽：本发明避免了测量介质与敏感元件的直接接触，改善了被测介质的温度特性对传感器测量结果的不利影响，拓宽了薄膜压力传感器的介质测量温区。