公开/公告号CN109959475B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 南昌欧菲显示科技有限公司;
申请/专利号CN201711406775.9
申请日2017-12-22
分类号G01L1/22(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人石佩
地址 330100 江西省南昌市小微工业园办公楼二楼
入库时间 2022-08-23 12:51:06
机译: 基于薄膜纳米微机电系统的电阻应变式压力传感器的制造方法
机译: 薄膜模零以生产电容模具薄膜绝对压力传感器,电阻模具薄膜绝对压力传感器和电容模具绝对压力传感器
机译: 电容式薄膜绝对压力传感器,电阻式薄膜绝对压力传感器以及制造电容式绝对压力传感器的薄膜形成方法