导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器

摘要

本发明涉及一种薄膜电阻应变式压力传感器及导电薄膜。上述薄膜电阻应变式压力传感器中的应变电阻由导电薄膜蚀刻形成。其中，导电薄膜包括基材、硬涂层及金属层，且硬涂层中包含由离子捕捉剂形成的多个颗粒。颗粒可以吸附游离的阴离子和阳离子。因此，通过添加颗粒，能有效地减少硬涂层及金属层中游离的离子数量。进一步的，金属层发生腐蚀的化学原理即发生了氧化还原反应，而通过减少游离的离子的含量，能有效地抑制氧化还原反应的发生。因此，可有效地防止金属层及由金属层形成的金属线路在高温高湿的环境中被腐蚀，从而使得上述薄膜电阻应变式压力传感器及导电薄膜的可靠性得到有效地提升。