平面磁性传感器和用于多维磁场分析的平面磁性传感器

摘要

提供平面磁性传感器和用于多维磁场分析的平面磁性传感器，可在短时间内在大面积上测量磁场。平面磁性传感器10包括由磁电阻效应膜制成的检测层11以及在磁电阻效应膜各个表面上层叠的导体层12、13，导体层12、13由多个线状导体膜12a、13a制成，线状导体膜12a、13a沿着各表面以直线状形成且在它们之间有预定的间隔。在平面视图内导体层12的线状导体膜12a和导体层13的线状导体膜13a排列为相互交叉，且在它们之间有磁电阻效应膜。