一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置

摘要

本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种测量装置。一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置，包括电子束聚焦系统，该电子束聚焦系统的前方设有一半导体面板。还包括光学放大系统，位于电子束打到半导体面板形成自发辐射的出射光路上。光学放大系统的后方设有光学测量器件，光学测量器件连接测量驱动板，所述测量驱动板连接计算机。本实用新型的光学测量装置实现方便、操作简单，具有测量速度快、溅射因素影响小、测量数据直观的特点。