一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置及其方法

摘要

本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种光学测量装置及其方法。一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量方法，电子束束斑轰击半导体面板，半导体面板自发辐射，发出光束，利用光学测量方式测量光束的光强信息，进而得到电子束束斑。有益效果：由于采用上述技术方案，本发明的光学测量方法的实现方便、操作简单，具有测量速度快、溅射因素影响小、测量数据直观特点。