一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置

摘要

本实用新型涉及一种金属掩膜装置，尤其运用于真空镀膜机中形成各种图形的领域。该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜、基材、金属掩膜的层状结构，金属掩膜的外表面设有电磁铁。金属掩膜及基材下面，贴上磁性保护膜，再用电磁铁来产生磁性，来控制基材与金属保护膜之间的压力。利用电流大小来控制磁性大小，而由于基材下部分是均匀的铁氧体保护膜，这样的好处是金属掩膜板和保护膜之间有相互的引力，可以控制金属掩膜板对基材之间的压力和使基材受力更均匀，消除了基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱。进而，所镀出来的膜的图形更清晰，精度会更好。