一种粉体材料表面低温等离子体处理装置

摘要

本实用新型提供了一种粉体材料表面低温等离子体处理装置，所述装置包括电极、流化床、流量调节器、气瓶、等离子体电源发生器、粒子过滤阱以及真空泵，气体经流量调节器从流化床底部喂入，真空泵通过管道与粒子过滤阱连接，粒子过滤阱连接流化床的上部，流化床外壁设有电极组。本实用新型适合于处理粉体物料，实现单个微粒的表面得到全部的处理，处理均匀性好，处理效率高，处理效果理想。