单晶炉的观察单晶棒生长装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉的观察单晶棒生长装置，在副炉的侧壁上开有观察孔，所述观察孔上铰接有观察窗，观察窗上带有透明玻璃，副炉的侧壁上设有直径传感器，直径传感器外连接有控制装置。本实用新型可透过观察窗直接观察单晶硅的生长过程，通过直径传感器可直接测量单晶硅的直径大小，结构设计简单，提高了单晶硅的质量。