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苏文佳; 左然; Vladimir Kalaev;
江苏大学能源与动力工程学院;
STR Group,St.Petersburg,Russia;
单晶硅; 数值模拟; 热屏; 炭毡;
机译:氩气流量和炉压对横向磁场中生长的切克劳斯基单晶硅中氧浓度的影响
机译:在锗单晶生长的不同阶段的RF Czochralski炉的全局模拟,第II部分:研究坩埚相对位置对等温,流场和热弹性应力的影响
机译:直拉生长的单晶硅中氧浓度优化的工艺设计和模拟
机译:单晶硅生长炉控制系统的研究
机译:具有压阻读数的高频热激励单晶硅微机械谐振器。
机译:单晶硅电池的金字塔形结构的标准偏差定量表征和工艺优化
机译:单晶硅热纳米切割的分子动力学模拟研究
机译:确定生长单晶硅,硅化物和碳化物单晶的最佳条件的研究调查
机译:单晶硅生长炉和单晶硅生长炉复合隔热结构
机译:用于单晶硅生长炉的隔热罩和单晶硅生长炉
机译:单晶硅生长炉和单晶硅生长炉的薄膜隔热片
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