一种3-DOF硅基纳米级定位平台及其制作方法

摘要

本发明涉及一种3-DOF硅基纳米级定位平台及其制作方法，所述定位平台包括单晶硅衬底，该衬底的同一表面上设置有四个静电梳齿致动器和一个正方形定位台，其中，四个静电梳齿致动器以正方形定位台为中心呈对称分布，各静电梳齿致动器通过其输出端的柔性弯曲梁与正方形定位台相连接，静电梳齿致动器前后两侧分别对应连接有柔性折叠梁和位移检测梁，静电梳齿致动器、正方形定位台、柔性折叠梁和位移检测梁通过绝缘锚点与单晶硅衬底连接，悬浮在单晶硅衬底之上，正方形定位台采用侧向静电梳齿驱动和平板电容驱动两种复合驱动方式实现平台的X、Y、Z三轴运动控制。与现有技术相比，本发明具有结构尺寸小、成本低、工艺简单且工艺兼容性强等优点。