A planar 3-DOF nanopositioning platform with large magnification

机译：具有大放大倍数的平面3-DOF纳米定位平台

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Wang Ruizhou; Zhang Xianmin;
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年度 2016
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2. A SOI-MEMS-based 3-DOF planar parallel-kinematics nanopositioning stage [J] . Mukhopadhyay D, Dong J, Pengwang E, Sensors and Actuators, A. Physical . 2008,第1期

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