基于光子晶体和超晶格雪崩光电二极管的太赫兹探测器结构

摘要

基于光子晶体和超晶格雪崩光电二极管的太赫兹探测器结构，包括第一电极、p+GaAs接触层、GaAs/Al_xGa_1-xAs超晶格层、n+GaAs缓冲层、第二电极和n+GaAs衬底材料层，其特征在于在GaAs/Al_xGa_1-xAs超晶格层的p+GaAs接触层之上生长光子晶体层，超晶格层的周期数在20～50之间，组分值x在0.01～0.2之间，超晶格结构的各层材料不掺杂；缓冲层的掺杂浓度高于衬底材料层的掺杂浓度；在接触层上制备第一电极，在衬底材料层上制备第二电极。本实用新型将光子晶体与探测器集成为一体，克服了现有滤光片+探测器分立方式结构复杂、制备工艺难度大的缺点，降低了背景辐射的影响，提高了噪声等效功率。