用于薄膜光伏器件的大规模MOCVD系统

摘要

本实用新型提供了在基底面板上制备薄膜的装置和利用化学气相沉积在基底面板上形成薄膜的系统，该装置包括由多个侧壁密封的沉积室、盖、及底。该装置包括混合室，其设置在盖的上方，并构造为接收蒸气物质并形成混合蒸气。混合室经由穿过盖的入口连接于沉积室，包括扩散板。两个加热板并排设置在底上，用于支撑和加热两个基底。该系统包括：产生一种或多种蒸气的前体子系统，该子系统包括，用来供给第一液体的第一输送组件；用来供给第二液体的第二输送组件；用来供给气态物质的第三输送组件；起泡器控制组件；及包括混合室和沉积室的处理子系统等。本实用新型的装置和系统实现了直接在特大玻璃基底上高品质和低成本地大规模制造薄膜光伏面板。