法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-24
专利权的转移 IPC(主分类):G01R19/00 登记生效日:20171107 变更前: 变更后: 变更前: 变更后: 申请日:20101119
专利申请权、专利权的转移
2012-12-19
专利权的转移 IPC(主分类):G01R19/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20121119 申请日:20101119
专利申请权、专利权的转移
2011-10-19
授权
授权
机译: 在线监测单晶片过程中晶片清洗溶液的方法和装置以及该装置的试剂容器
机译: 固化过程中介电参数的连续在线监测装置
机译: 用于在线监测过滤过程中膜结垢的装置包括膜,其边缘被夹在顶板和底板之间