利用紫外光可穿透模具来制造用于整合式相机的透镜板的方法以及制造紫外光可穿透模具的方法

摘要

间隔晶圆中的多个悬吊透镜与透镜在凹袋中的结构复制于紫外光可穿透模具。制造紫外光可穿透模具的方法可包括提供带有座体的基板，利用分步及重复处理步骤在各座体上制造透镜，从带有座体及具有透镜在座体上的基板复制出中间模具，以及从中间模具复制出紫外光可穿透模具。制造紫外光可穿透模具的方法还可包括提供带有孔洞的基板，在各孔洞中制造透镜，从带有座体及具有透镜在孔洞的基板复制出紫外光可穿透模具。