一种基于直线电机的双载具运动平台

摘要

本实用新型涉及一种基于直线电机的双载具运动平台，能够在不停机的情况下对载具平台上的载具进行更换，提高了生产效率，尤其适合于像半导体封装这样要求高设备利用率的工业领域。其包含有一个长行程X轴直线电机和两个短行程Y轴直线电机。本实用新型采用直线电机直接驱动X轴和Y轴运动，没有传统滚珠丝杠传动中存在的反向间隙和摩擦力，重复定位精度高，使用寿命长且运行干净；采用线性光栅尺及解码器为X轴和Y轴直线运动提供信号反馈，保证定位精度；采用一个长行程X轴直线电机驱动两个短行程Y轴直线电机的模式，比传统方案少用一个电机，系统简单，可靠性高。